超纯水和药水的纯度管理，过滤器交换，最佳的清洗剂和清洗装置的选择，能提高去除率。

细小颗粒物的残渣是由生产设备周边的人和物产生的灰尘和尘埃附着在工件上，或者混入清洗剂和漂洗剂中而产生的。特别是在精密机器的生产工序中，有可能会发生细小颗粒物

残渣而导致外观不良、良品率低下等问题。

细小颗粒物而言清洗剂和水不能溶解物质也很多,不像类似助焊剂清洗和脱脂清洗污染物的清洗剂溶解并清除(化学作用),而是让污染物从清洗物中分离去除(物理作用)。

超纯水的除垢工序中，通过添加微量的清洗剂，可以提高除垢和工作的静电斥力，提高去除的效率。

使用适合于细小颗粒物以及工件材质的添加剂（Pine Alpha ST-710）

管理和控制超纯水和药液的供给量以及其中的细小颗粒物的数量。

适时更换滤芯

使用最合适的超音波功率和频率